規格/功能：

• ◆5-8inch≤12S，1-12inch≤20S，12.1-17inch≤35S
• ◆過檢率≤3% ，漏檢率≤0PPM，以滿足客戶管控出貨量率
• ◆使用先進的演算法，可穩定檢測ITO MICRO SCRATCH。
• ◆可生成每日生產檢測明細及具備MES上傳功能，便產品資訊查詢。