CO2 Snow Cleaner 有機化合物清洗機
設備外觀圖

CO2 SNOW 清洗實際照片


何謂CO2 Snow Cleaning?
- ➢CO2 Snow主要由LCO2、氣態CO2&固態CO2微粒(乾冰)三相共存態所構成。
- ➢藉由CO2三相共存態高速氣體之流場牽引力、及衝擊時動能轉換相變化,已達去除Particle或有機物汙染物之目的。
CO2 CLEANER清潔實例分享
1、Wafer有機汙染物實例 | |
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2、雷射鑽孔加工後積碳實例 | |
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3、CMOS鏡頭表面實例 | |
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