光罩開孔孔徑及外觀缺陷檢測結果 : 

• (1)按客戶要求檢知孔徑尺寸 , 檢測精度 : 1μm
• (2)表面外觀缺陷 : 異物 , 開口缺口 , 凹凸 , 銹斑 , 斷開 , 開口遮蔽 等